• <strike id="ssg0o"></strike>
  • <strike id="ssg0o"></strike>
  • <ul id="ssg0o"><sup id="ssg0o"></sup></ul>
  • <fieldset id="ssg0o"><menu id="ssg0o"></menu></fieldset>
    全國服務(wù)咨詢熱線:

    18627990650

    當(dāng)前位置:首頁  >  產(chǎn)品中心  >    >  氣體傳感器  >  Gasboard-2061紅外氣體傳感器 半導(dǎo)體行業(yè)薄膜沉積工藝

    紅外氣體傳感器 半導(dǎo)體行業(yè)薄膜沉積工藝

    簡要描述:紅外氣體傳感器 半導(dǎo)體行業(yè)薄膜沉積工藝是由四方儀器自主研發(fā)的高性能氣體傳感器,產(chǎn)品基于非分光紅外技術(shù)(NDIR),能夠精確測量半導(dǎo)體等應(yīng)用中產(chǎn)生的WF6、CF4、SF6、NF3、CO2等氣體,兼容機(jī)臺內(nèi)常見預(yù)留尺寸、法蘭和通訊協(xié)議,可用于半導(dǎo)體沉積和清洗工藝的端點檢測、腔室清理終端檢測,能夠減少清潔時間,節(jié)約成本,提高產(chǎn)量。

    • 產(chǎn)品型號:Gasboard-2061
    • 廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
    • 更新日期:2025-05-27
    • 訪  問  量:1070

    詳細(xì)介紹

    紅外氣體傳感器 半導(dǎo)體行業(yè)薄膜沉積工藝


    產(chǎn)品名稱:紅外氣體傳感器

    產(chǎn)品型號:Gasboard-2061


    紅外氣體傳感器產(chǎn)品概述

    紅外氣體傳感器是由四方儀器自主研發(fā)的高性能氣體傳感器,產(chǎn)品基于非分光紅外技術(shù)(NDIR),能夠精確測量半導(dǎo)體等應(yīng)用中產(chǎn)生的WF6、CF4、SF6、NF3、CO2等氣體,兼容機(jī)臺內(nèi)常見預(yù)留尺寸、法蘭和通訊協(xié)議,可用于半導(dǎo)體沉積和清洗工藝的端點檢測、腔室清理終端檢測,能夠減少清潔時間,節(jié)約成本,提高產(chǎn)量。


    紅外氣體傳感器產(chǎn)品特性

    (1)使用NDIR技術(shù),多氣體監(jiān)測支持(WF6、CF4、SF6、NF3、CO2等氣體)

    (2)響應(yīng)時間快,高靈敏度

    (3)無耗材

    (4)模擬/數(shù)字通信

    (5)模塊化設(shè)計,便于集成


    紅外氣體傳感器技術(shù)參數(shù)


    檢測原理NDIR
    檢測氣體WF6、CF4、SF6、NF3、CO2
    量程1~264ppm(0~200mTorr)
    重復(fù)性±0.5%
    線性±1%F.S.
    檢測限1ppm







    應(yīng)用領(lǐng)域

    半導(dǎo)體行業(yè)薄膜沉積工藝CVD設(shè)備的EPD氣體檢測

    產(chǎn)品咨詢

    留言框

    • 產(chǎn)品:

    • 您的單位:

    • 您的姓名:

    • 聯(lián)系電話:

    • 常用郵箱:

    • 省份:

    • 詳細(xì)地址:

    • 補(bǔ)充說明:

    • 驗證碼:

      請輸入計算結(jié)果(填寫阿拉伯?dāng)?shù)字),如:三加四=7

    全國統(tǒng)一服務(wù)電話

    027-81628829

    電子郵箱:cubic-ry56@gasanalyzer.com.cn

    公司地址:武漢市東湖高新技術(shù)開發(fā)區(qū)鳳凰產(chǎn)業(yè)園鳳凰園中路6號

    業(yè)務(wù)咨詢微信

    主站蜘蛛池模板: 久久精品www人人爽人人| 51视频国产精品一区二区| 久久国产精品一国产精品金尊| 精品无码国产自产拍在线观看蜜| 国产成人亚洲综合无码精品| 亚洲精品久久久www | 久久久无码精品亚洲日韩软件| 久久99热国产这有精品| 精品一区二区三区波多野结衣| 欧美精品人爱a欧美精品| 国产精品午夜免费观看网站| 欧美黑人巨大精品| 99热在线日韩精品免费| 精品成在人线AV无码免费看 | 久久精品国产一区二区电影| 国产精品久久久久久久午夜片 | 精品国产美女福利到在线不卡| 日韩精品国产另类专区| 中文字幕精品一区二区精品| 欧美久久亚洲精品| 久久精品国产一区二区三区不卡| 国产午夜精品理论片久久| 9久热这里只有精品| 99RE8这里有精品热视频| 欧美精品国产日韩综合在线| 91精品国产自产在线观看永久| 久久综合国产乱子伦精品免费| 伊人久久精品影院| 亚洲午夜精品一级在线播放放| 日韩精品无码久久一区二区三| 麻豆精品| 亚洲视频在线精品| 亚洲精品线路一在线观看| 亚洲精品第一国产综合精品99| 日韩精品一区二区三区不卡| 四虎成人精品国产永久免费无码| 欧美精品福利视频一区二区三区久久久精品 | 国产欧美精品AAAAAA片| 99热门精品一区二区三区无码| 国产女人精品视频国产灰线| 99久久精品国产高清一区二区|