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    紅外氣體傳感器 半導(dǎo)體行業(yè)薄膜沉積工藝

    簡要描述:紅外氣體傳感器 半導(dǎo)體行業(yè)薄膜沉積工藝是由四方儀器自主研發(fā)的高性能氣體傳感器,產(chǎn)品基于非分光紅外技術(shù)(NDIR),能夠精確測量半導(dǎo)體等應(yīng)用中產(chǎn)生的WF6、CF4、SF6、NF3、CO2等氣體,兼容機(jī)臺內(nèi)常見預(yù)留尺寸、法蘭和通訊協(xié)議,可用于半導(dǎo)體沉積和清洗工藝的端點檢測、腔室清理終端檢測,能夠減少清潔時間,節(jié)約成本,提高產(chǎn)量。

    • 產(chǎn)品型號:Gasboard-2061
    • 廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
    • 更新日期:2025-05-27
    • 訪  問  量:1070

    詳細(xì)介紹

    紅外氣體傳感器 半導(dǎo)體行業(yè)薄膜沉積工藝


    產(chǎn)品名稱:紅外氣體傳感器

    產(chǎn)品型號:Gasboard-2061


    紅外氣體傳感器產(chǎn)品概述

    紅外氣體傳感器是由四方儀器自主研發(fā)的高性能氣體傳感器,產(chǎn)品基于非分光紅外技術(shù)(NDIR),能夠精確測量半導(dǎo)體等應(yīng)用中產(chǎn)生的WF6、CF4、SF6、NF3、CO2等氣體,兼容機(jī)臺內(nèi)常見預(yù)留尺寸、法蘭和通訊協(xié)議,可用于半導(dǎo)體沉積和清洗工藝的端點檢測、腔室清理終端檢測,能夠減少清潔時間,節(jié)約成本,提高產(chǎn)量。


    紅外氣體傳感器產(chǎn)品特性

    (1)使用NDIR技術(shù),多氣體監(jiān)測支持(WF6、CF4、SF6、NF3、CO2等氣體)

    (2)響應(yīng)時間快,高靈敏度

    (3)無耗材

    (4)模擬/數(shù)字通信

    (5)模塊化設(shè)計,便于集成


    紅外氣體傳感器技術(shù)參數(shù)


    檢測原理NDIR
    檢測氣體WF6、CF4、SF6、NF3、CO2
    量程1~264ppm(0~200mTorr)
    重復(fù)性±0.5%
    線性±1%F.S.
    檢測限1ppm







    應(yīng)用領(lǐng)域

    半導(dǎo)體行業(yè)薄膜沉積工藝CVD設(shè)備的EPD氣體檢測

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